石墨軟氈是將硬氈經(jīng)過石墨化制成，它具有質(zhì)輕、擾性好，炭含量高、耐高溫、高溫?zé)o揮發(fā)，耐腐蝕，導(dǎo)熱系數(shù)小的性能，并有高度的形狀保持性，是高溫真空電阻爐，特別適用于半導(dǎo)體的特種材料，制備爐的優(yōu)良保溫材料，也是抗腐蝕的過濾材料。
石墨硬氈主要應(yīng)用在：真空爐隔熱；惰性氣體爐隔熱；多晶硅/單晶硅爐隔熱
石墨軟氈的主要特性：
1、導(dǎo)熱系數(shù)低
2、比熱低
3、熱穩(wěn)定性高
4、阻抗良好
5、加工簡單
6、表面性能好
7、純度高
8、結(jié)構(gòu)非常均勻
9、不產(chǎn)生靜電
主要特點(diǎn)：低導(dǎo)熱系數(shù)；高純度；高熱穩(wěn)定性；抗侵蝕；易切割加工